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中国电子行业超纯水标准
2013-08-14 15:30:38 来源:皓泉水处理 点击:
中国电子行业超纯水标准
指 标 名 称
一 级 水
(EW-1)
二 级 水
(EW-2)
电阻率MΩ.CM. (25℃)
18(95‰时间)不低于17
15(95‰时间)不低于13
硅 ≤μg/L
2
10
>1μm 微粒数
0.1
5
细菌个数 ≤个/ml
0.01
0.1
铜 ≤μg/L
0.2
1
锌 ≤μg/L
0.2
1
镍 ≤μg/L
0.1
1
钠 ≤μg/L
0.5
2
钾 ≤μg/L
0.5
2
氯 ≤μg/L
1
1
硝酸根 ≤μg/L
1
1
磷酸根 ≤μg/L
1
1
硫酸根 ≤μg/L
1
1
总有机碳 ≤μg/L
20
100