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电子级超纯水中国国家标准（GB/T11446.1-1997）
2013-09-02 13:43:13 来源： 点击：
电子级超纯水中国国家标准（GB/T11446.1-1997）
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项目
级别
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比电阻 MΩ.cm@25℃
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硅 ≤ μg/L
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>1μm微粒数 < 个/ml
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细菌个数< 个/ml
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铜≤μg/L
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锌≤μg/L
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镍≤μg/L
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钠≤μg/L
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钾 ≤ g/L
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氧≤ μg/L
|
硝酸根≤
μg/L |
磷酸根≤
μg/L |
硫酸根 ≤μg/L
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总有机碳≤μg/L
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EW-Ⅰ
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18（95%的时间不低于17）
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2
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0.1
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0.001
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0.2
|
0.2
|
0.1
|
0.5
|
0.5
|
1
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1
|
1
|
1
|
20
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EW-Ⅱ
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15（95%的时间不低于13）
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10
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5
|
0.1
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1
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1
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1
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2
|
2
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1
|
1
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1
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1
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100
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